浦東半導體無塵車間裝修設計及注意事項

2021年，全世界經(jīng)濟經(jīng)歷了疫情的嚴肅考驗，伴隨著后疫情時代的到來，中國經(jīng)濟向好的新一輪工業(yè)革命浪潮正迅猛推進，同時極大地促進了中國半導體產(chǎn)業(yè)技術的革新，無論是從科技，還是從經(jīng)濟發(fā)展的角度看，半導體在中國制造領域里都是非常重要的。
作為致力于半導體高科技生產(chǎn)服務的尚文凈化公司，所在的凈化工程行業(yè)的市場競爭非常激烈，而且目前也由價格競爭轉(zhuǎn)向為需方提供更多的價值競爭，在這種形勢下，尚文凈化公司更是積極地參與到政府主導的半導體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈凈化工程建設項目中來。電子級多晶硅是整個集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的源頭和基礎，而我國的電子級多晶硅材料長期依賴進口，供應受制于人，半導體材料科技有限公司電子級多晶硅的成功產(chǎn)出填補了這一空白，同時半導體公司圍繞著主產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)服務的新項目建設拉開了帷幕。
半導體行業(yè)要想獲得高質(zhì)量的成品，需要嚴格控制空氣中的粒子數(shù)，此時，無塵車間就起到了決定性的作用。
半導體無塵車間裝修潔凈室系統(tǒng)技術參數(shù)：
1、壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa；
2、平均風速：0.3－0.5m/s（百級）；
3、噪聲≤65dB（A）；
4、新風補充量是總送風量的10％－30％；
5、照度300LX；
6、溫度：20-26 度（車間），溫度：12-23度（測試）
7、濕度：50-70%RH（車間），濕度40-85%RH（測試）
8、潔凈度等級：百級－30萬級用于測試區(qū)域，千級－30萬級用于生產(chǎn)制造區(qū)域
9、ESD也是半導體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容，靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設備造成損害，還可能引起硅片表面塵粒吸附，影響產(chǎn)品的良率。

浦東半導體凈化車間設計及注意事項
1、半導體凈化無塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進，因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經(jīng)凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。
2、為保持恒溫與恒濕，空調(diào)設備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久，空調(diào)就得開多久。
3、所有經(jīng)凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，凈化無塵車間室內(nèi)空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃、細菌等在無塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至程度。
4、半導體無塵車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工以及上述的重點難點外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應等）及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學品供應系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設備及其配管配線的安裝等。