半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)裝修平面布局圖
一、工程概括
半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)范圍包括：裝修方案（圍護(hù)、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體檢測(cè)、EP級(jí)管道及BA及管道。供應(yīng)氣管尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理）電氣方案（空調(diào)設(shè)備動(dòng)力配電等），弱點(diǎn)工程，集成控制智能平臺(tái)，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢氣處理。
二、結(jié)構(gòu)圍護(hù)工程
墻板及吊頂：本工程隔墻采用企業(yè)口型機(jī)制玻鎂巖棉夾芯板0.426，玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠房二級(jí)消防要求，玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等級(jí)達(dá)到A級(jí)。巖棉密度：≥100kg/m3；導(dǎo)熱系數(shù)：≤0.046w/m.k；燃燒性能：A級(jí)（不燃）。耐火極限為30-120分鐘。廣泛應(yīng)用于食品、電子、醫(yī)藥、飲料、生物研究等行業(yè)。
地板：本宮車間內(nèi)地面采用防靜電型PVC地板，其中千級(jí)和百級(jí)車間采用防靜電型加高鋼板，其它為普通型PVC地板。PVC地板是當(dāng)今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料，也稱為“輕體地材”使用非常廣泛。
三、暖通工程
設(shè)備：空調(diào)制冷負(fù)荷：經(jīng)統(tǒng)計(jì)計(jì)算，總冷負(fù)荷約500kw。采用恒溫恒濕潔凈空調(diào)，夏季采用磁懸浮水冷機(jī)組，冬季采用廠區(qū)鍋爐熱水供熱。
風(fēng)管：風(fēng)管采用共板法蘭風(fēng)管。
水管：空調(diào)水管采用無縫鋼管。水泵采用星 三角降壓?jiǎn)?dòng)。
四、特種氣體工程
工藝氣體種類多，純度高，并且易燃易爆有毒。安全問題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進(jìn)口成熟產(chǎn)品。
英文mocvd生長(zhǎng)使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長(zhǎng)多組分，大面積，薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在mocvd系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運(yùn)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。
五、空壓機(jī)工程
螺桿式空壓機(jī)組主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)，潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組要壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。
六。廢氣工程
由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作是清潔要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。
對(duì)酸性氣體、堿性氣體的處理一般采用濕式洗滌塔技術(shù)。
對(duì)于有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝工程中有機(jī)廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時(shí)）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點(diǎn)，使用其他的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃度縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。
七、電氣工程
空調(diào)動(dòng)力電工程；統(tǒng)計(jì)總用量電量約830kw，空調(diào)用電約330kw。
動(dòng)力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設(shè)，再分支車間及設(shè)備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號(hào)。
八、弱點(diǎn)系統(tǒng)工程
1、高清視頻監(jiān)控 系統(tǒng)采用1200w網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控?cái)z像機(jī)，通過千兆交換組網(wǎng)在機(jī)房中心進(jìn)行集中存儲(chǔ)，系統(tǒng)設(shè)計(jì)7*24小時(shí)間斷運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)1080p存儲(chǔ)1個(gè)月以上，管理人員可通過電腦進(jìn)行監(jiān)控查看，錄像回放等操作。
2、門禁管理系統(tǒng) 門禁系統(tǒng)已成為安防系統(tǒng)極其重要的組成部分，門禁系統(tǒng)將監(jiān)控被動(dòng)防范的方式進(jìn)行了主動(dòng)防范補(bǔ)充。通過網(wǎng)絡(luò)一體式門禁管理機(jī)，配合門禁專用電源。電磁鎖可將主要出入口設(shè)置為授權(quán)式管理，避免了與車架無關(guān)人員的頻繁出入。
九、只能平臺(tái)
潔凈系統(tǒng)中的風(fēng)量控制采用文丘李閥門，實(shí)時(shí)監(jiān)控流量計(jì)狀態(tài)，可在先診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩(wěn)可靠。中控室中把空調(diào)、特氣、純水、監(jiān)控、房間溫濕度等參數(shù)集成管理、顯示、儲(chǔ)存，并對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行打印輸出及溯源查找。并經(jīng)設(shè)備輸出在參觀通道播放，方便參觀。
十、純水工程
1、設(shè)備產(chǎn)水能力：
2、RO系統(tǒng)：一級(jí)RO反滲透產(chǎn)水量≥8m3/h（水溫保證在25℃時(shí)）；
二級(jí)RO反滲透產(chǎn)水量≥6m3/h（水溫保證在25℃時(shí)）；
3、EDI系統(tǒng)：EDI產(chǎn)量水量≥5m3/h（水溫在25℃時(shí)）
4、終端拋光混床產(chǎn)水能力為：≥5m3/h（水溫保證在25℃時(shí)）
5、設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)指標(biāo)：
終端拋光混床產(chǎn)水能力為：≥18.00MΩ.com（水溫保證在25℃時(shí)，測(cè)點(diǎn)在拋光混床出口3米內(nèi)，95%時(shí)間）
其他技術(shù)指標(biāo)參照我國(guó)的電子級(jí)水電技術(shù)指標(biāo)（GB11446.1-1977)EW-1
由于設(shè)備用水的級(jí)別各不相同，可以在本設(shè)計(jì)流程中的某段引出合適的使用點(diǎn)即可。對(duì)于超純水必須采用UPVC材質(zhì)（因金屬管道會(huì)析出離子），特別對(duì)于園晶的生產(chǎn)，超純水會(huì)對(duì)額定的離子限值嚴(yán)格，所以采用進(jìn)口的UPVC純水管道對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
十一。廢氣處理工程
