半導體凈化車(chē)間設計裝修平面布局圖

  一、工程概括
半導體凈化車(chē)間設計范圍包括:裝修方案(圍護、地面防水保溫處理),暖通方案(空調設備、風(fēng)管、水管等),特氣供應方案(特氣柜含保險控制、房間氣體檢測、EP級管道及BA及管道。供應氣管尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理)電氣方案(空調設備動(dòng)力配電等),弱點(diǎn)工程,集成控制智能平臺,純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢氣處理。

半導體凈化車(chē)間設計裝修

二、結構圍護工程
墻板及吊頂:本工程隔墻采用企業(yè)口型機制玻鎂巖棉夾芯板0.426,玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠(chǎng)房二級消防要求,玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能,耐火等級達到A級。巖棉密度:≥100kg/m3;導熱系數:≤0.046w/m.k;燃燒性能:A級(不燃)。耐火極限為30-120分鐘。廣泛應用于食品、電子、醫藥、飲料、生物研究等行業(yè)。
地板:本宮車(chē)間內地面采用防靜電型PVC地板,其中千級和百級車(chē)間采用防靜電型加高鋼板,其它為普通型PVC地板。PVC地板是當今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料,也稱(chēng)為“輕體地材”使用非常廣泛。
三、暖通工程
設備:空調制冷負荷:經(jīng)統計計算,總冷負荷約500kw。采用恒溫恒濕潔凈空調,夏季采用磁懸浮水冷機組,冬季采用廠(chǎng)區鍋爐熱水供熱。
風(fēng)管:風(fēng)管采用共板法蘭風(fēng)管。
水管:空調水管采用無(wú)縫鋼管。水泵采用星 三角降壓?jiǎn)?dòng)。
四、特種氣體工程
工藝氣體種類(lèi)多,純度高,并且易燃易爆有毒。安全問(wèn)題突出,為保證系統的安全和穩定可靠,建議采用進(jìn)口成熟產(chǎn)品。
英文mocvd生長(cháng)使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì),并且要生長(cháng)多組分,大面積,薄層和超薄層異質(zhì)材料,因此在mocvd系統的設計思想上,通常要考慮系統密封性要好,流量、溫度控制要精確,組分變換要迅速,系統要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統和尾氣處理系統。
五、空壓機工程
螺桿式空壓機組主要有以下系統組成:空氣流程系統,潤滑油流程系統、冷卻系統、安全保護系統、控制系統及電氣線(xiàn)路。螺桿式空壓機組要壓縮機、電動(dòng)機、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統中大多配置冷干機和空氣干燥器。
六。廢氣工程
由于半導體工藝對操作是清潔要求極高,通常使用風(fēng)機抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣,因此半導體行業(yè)廢氣排放有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類(lèi):酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

生產(chǎn)廢氣排放源及組成表

對酸性氣體、堿性氣體的處理一般采用濕式洗滌塔技術(shù)。
對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。因為半導體工藝工程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11039m3/小時(shí))和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn),使用其他的處理技術(shù)難以達到令人滿(mǎn)意的處理效率。沸石濃度縮轉輪后再吸附或焚燒。

七、電氣工程
空調動(dòng)力電工程;統計總用量電量約830kw,空調用電約330kw。
動(dòng)力(鍍鋅線(xiàn)槽)沿墻體及天花敷設,再分支車(chē)間及設備電箱,安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號。
八、弱點(diǎn)系統工程
1、高清視頻監控 系統采用1200w網(wǎng)絡(luò )監控攝像機,通過(guò)千兆交換組網(wǎng)在機房中心進(jìn)行集中存儲,系統設計7*24小時(shí)間斷運行,實(shí)現1080p存儲1個(gè)月以上,管理人員可通過(guò)電腦進(jìn)行監控查看,錄像回放等操作。
2、門(mén)禁管理系統 門(mén)禁系統已成為安防系統極其重要的組成部分,門(mén)禁系統將監控被動(dòng)防范的方式進(jìn)行了主動(dòng)防范補充。通過(guò)網(wǎng)絡(luò )一體式門(mén)禁管理機,配合門(mén)禁專(zhuān)用電源。電磁鎖可將主要出入口設置為授權式管理,避免了與車(chē)架無(wú)關(guān)人員的頻繁出入。
九、只能平臺
潔凈系統中的風(fēng)量控制采用文丘李閥門(mén),實(shí)時(shí)監控流量計狀態(tài),可在先診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩可靠。中控室中把空調、特氣、純水、監控、房間溫濕度等參數集成管理、顯示、儲存,并對數據進(jìn)行打印輸出及溯源查找。并經(jīng)設備輸出在參觀(guān)通道播放,方便參觀(guān)。
十、純水工程
1、設備產(chǎn)水能力:
2、RO系統:一級RO反滲透產(chǎn)水量≥8m3/h(水溫保證在25℃時(shí));
二級RO反滲透產(chǎn)水量≥6m3/h(水溫保證在25℃時(shí));
3、EDI系統:EDI產(chǎn)量水量≥5m3/h(水溫在25℃時(shí))
4、終端拋光混床產(chǎn)水能力為:≥5m3/h(水溫保證在25℃時(shí))
5、設備產(chǎn)水水質(zhì)指標:
終端拋光混床產(chǎn)水能力為:≥18.00MΩ.com(水溫保證在25℃時(shí),測點(diǎn)在拋光混床出口3米內,95%時(shí)間)
其他技術(shù)指標參照我國的電子級水電技術(shù)指標(GB11446.1-1977)EW-1

由于設備用水的級別各不相同,可以在本設計流程中的某段引出合適的使用點(diǎn)即可。對于超純水必須采用UPVC材質(zhì)(因金屬管道會(huì )析出離子),特別對于園晶的生產(chǎn),超純水會(huì )對額定的離子限值嚴格,所以采用進(jìn)口的UPVC純水管道對產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
十一。廢氣處理工程

半導體制造及封裝測試的各個(gè)工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生,主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水為主。

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