青浦電子無(wú)塵車間工程裝修設(shè)計(jì)要求

設(shè)計(jì)電子無(wú)塵車間工程,以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無(wú)塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程無(wú)塵室(區(qū))除對(duì)細(xì)顆粒進(jìn)行嚴(yán)格控制外,溫濕度控制和照度(甚至光源要求)微震也有較嚴(yán)格的要求,以消除靜電對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的影響,使環(huán)境滿足電子產(chǎn)品潔凈環(huán)境下生產(chǎn)工藝的要求。

按照現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn),電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室噪聲級(jí)(空態(tài)):不得超過(guò)65dB(A)

1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不能低于60%,水平單向流潔凈室不能低于40%,否則為局部單向流。

2.電子制造廠潔凈室和室外靜壓差不應(yīng)低于10Pa,空氣潔凈度不同時(shí)潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)靜壓差也不低于5Pa。

3.在電子制造行業(yè),萬(wàn)級(jí)潔凈室新鮮空氣量應(yīng)在以下兩項(xiàng)中取最大。

4.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量與維持室內(nèi)正壓值新鮮空氣量的總和。

5.確保向潔凈室提供每人每小時(shí)新鮮空氣量不少于40m2。

電子無(wú)塵車間潔凈室(區(qū))溫,濕度要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求來(lái)決定,在生產(chǎn)工藝沒有特定要求的情況下,可以采用20~26°C的溫度和30%~70%的相對(duì)濕度。 人員凈化用室及生活用室溫度可采用16~28°C。 按照符合國(guó)際ISO標(biāo)志的中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB-50073規(guī)定,該潔凈室(區(qū))潔凈度等級(jí)為1-9級(jí),包括1-5級(jí),氣流流型采用單向流或者混合流,風(fēng)速0.2-0.45m/s; 6級(jí)氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)50-60次/h; 7級(jí)氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)15-25次/h; 8-9級(jí)氣流流型是非單向流的,換氣次數(shù)為10-15次/h。

青浦電子無(wú)塵車間工程裝修設(shè)計(jì)

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